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系統設置為MES系統提供系統設置功能，包括生產單位、欄位、頁面、數據字典、菜單設置等，提供配置系統個性化Dashboard，系統設置模塊作為一個標準框架提供了客戶所需的基礎通用功能，并提供了一系列的自定義擴展設置，有利于應用程序的迅速構建。使交叉多應用程序中對象的定義標準化，支持多語種和多單位。因為許多元素被客戶化定義，系統變得更加靈活，擴展性更強。

該模塊允許用戶定義產品及其對應的工藝流程，包括每個工步類型及相關流程控制。

在流程定義方面，模塊支持多路徑（Multi-path），且現場作業時，可基于預先設定的條件，自動進行路徑選擇。

該模塊也支持各種產品流程控制，包括Q-Time控制(跨站正負時間限制）、機臺限制、工藝/設備機限、污染等級控制,并提供設置各種Future Action（比如Future Hold、操作提示等）等等。

返工設置方面，支持返工次數限制，且可通過系統的Context，定義多種層別的返工，比如工步級/工序級/流程級/產品級/批次級等。

該模塊可以為生產中所需采集的數據設定采集計劃，可以定義參數、參數集、采集點、樣本與樣點等。

支持按Job、Lot、Wafer進行數據采集，并提供Wafer Sampling規則設定，包括TOP+N、BOTTOM+N等。

可通過接口從量測設備直接獲取數據，或則通過量測設備生成的文件自動獲取數據。

該模塊提供設備基礎信息定義，包括父子設備和多腔設備的定義。

提供設備狀態模型的建立與追蹤管理，且可實現父子設備間和多腔設備間的狀態聯動，并可以支持狀態切換的權限設定。

該模塊包含了所有工藝流程的工藝菜單信息，可以創建和更新工藝菜單，工藝菜單的設置使用受版本控制，包括創建、激活、凍結、取消功能等。

支持邏輯工藝菜單和實際工藝菜單（加工參數）的設置，并可以根據工藝條件設定，根據前層量測結果自動選擇工藝菜單。

該模塊對在制品進行加工管理，指導操作員按照預先設定的工藝要求加工產品，并對加工信息進行詳細的跟蹤和記錄。

其中最主要的作業管理功能允許跟蹤多批次同時處理，可按片進行管理和跟蹤，提供Wafer級的歷史追溯。

除常用的派工（Dispatch）/批量派工（Batch）/進站（Move In）/出站（Move Out）外，其它功能包括：分批（Split）/合批（Merge）、暫停（Hold）/釋放（Relase）、跳步（Skip）/跳多步（Mulit-skip）、站內返工（Internal-rework）/站外返工（External-rework）等等。

該模塊包括原材料庫和輔助材料庫的管理。該模塊可單獨使用或者作為ERP中庫房管理模塊的擴展，實現接口功能。

支持常見的庫房管理功能：入庫、使用、出庫、退庫、庫房定義、存放庫房及貨架、借出、歸還、報廢、修復出庫、修復入庫、品質等級、凍結等功能。

該模塊支持Cassette(花籃)的類型、Slot數、使用周期定義，同時支持狀態模型管理。

提供花籃的維護設定，支持使用次數、使用時間的自動計算，觸發提醒等。

該模塊支持設定光刻板的相關屬性，如類型、等級、用途、客戶等，同時可以支持同E-RACK進行集成。

支持光刻板的設備進出站管理，批次加工時進行檢查光刻板是否使用正確。提供光刻板維護管理，可以根據使用次數及時間設置維護計劃。

提供批次實驗管理，包括批次流程的動態設定，分片單等功能，支持設定與替換批次的工步、Recipe、采集計劃等信息，提供設定的流程簽核。

提供Workflow編輯工具，設定OCAP流程，流程節點包括重量、加量、批注、批次釋放等，根據流程設定進行簽核及同MES功能聯動。